閉環(huán)之困：損耗與機遇并存
ITO靶材在濺射鍍膜過程中利用率通常僅30%左右，大量含銦廢料（廢舊靶材、邊角料、鍍膜腔室廢料）隨之產(chǎn)生。過去，這些價值的廢料往往被簡單處理或堆積。建立從“廢靶材→再生銦→新靶材”的閉環(huán)體系，成為破解資源約束的黃金路徑。
多種類回收技術(shù)如濕法冶金、火法冶金和物理分離法，提供了靈活的回收方式以適應(yīng)不同的廢物類型和規(guī)模需求。濕法冶金回收中，酸浸法通過使用鹽酸或硫酸來溶解ITO廢料，使得銦以In3?的形式進入溶液。隨后，可以利用溶劑萃取、置換反應(yīng)（例如，使用鋅粉進行置換）或電解法來進一步回收銦。生物浸出法利用特定的微生物，如硫氧化，來選擇性溶解銦。雖然這種方法環(huán)保，但目前其效率相對較低，仍處在研究階段?；鸱ㄒ苯鸹厥罩?，高溫熔煉將含銦廢料與還原劑（例如焦炭）一同進行高溫熔煉。在熔煉過程中，銦會富集在煙塵或熔渣中，隨后需要進一步的二次處理來進行提純。這種方法適用于大規(guī)模的回收操作，但能耗相對較高。
再生銦的應(yīng)用廣泛，包括重新制備ITO靶材，以及在半導(dǎo)體、合金等領(lǐng)域的使用。從經(jīng)濟角度看，回收1噸銦可以減少大約50噸原礦的開采，同時，回收銦的成本相比原生銦要低30%~50%。綜上所述，ITO銦的回收不僅對環(huán)境友好，還能帶來顯著的經(jīng)濟效益。隨著科技的不斷進步和電子廢棄物數(shù)量的不斷增加，且環(huán)保的回收方案將成為稀散金屬可持續(xù)利用的關(guān)鍵所在。
ITO靶粉回收雖具有較高價值，但實際操作中需注意以下幾點：
1.防護?；厥者^程涉及強酸、有機溶劑等化學(xué)品，操作人員需穿戴防護裝備，避免直接接觸。工作場所應(yīng)保持良好的通風(fēng)條件，防止有害氣體積聚。
2.環(huán)境保護?；厥者^程中產(chǎn)生的廢水、廢渣需妥善處理，避免對環(huán)境造成污染。酸性廢液應(yīng)中和后再排放，有機溶劑應(yīng)盡量回收利用或進行無害化處理。
3.質(zhì)量控制?；厥盏玫降慕饘巽熜杞?jīng)過嚴格檢測，確保其純度符合再次生產(chǎn)的要求。雜質(zhì)含量過高會影響終產(chǎn)品的性能。
4.經(jīng)濟性分析。回收項目需綜合考慮成本與收益，包括原材料收集、化學(xué)品消耗、能源使用及設(shè)備折舊等因素。企業(yè)可根據(jù)自身情況選擇合適的回收規(guī)模和技術(shù)路線。
