ITO靶材的核心用途是在磁控濺射工藝中作為“濺射源”。磁控濺射是一種常見的薄膜沉積技術,通過高能離子轟擊靶材表面,使靶材原子被“敲擊”出來,終沉積在基板上,形成一層均勻的ITO薄膜。這層薄膜厚度通常在幾十到幾百納米之間,卻能同時實現導電和透光的功能。
冷等靜壓法
工藝流程:將混合粉末裝入柔性模具,在室溫下通過高壓(100-300兆帕)壓制成型,隨后在較低溫度下燒結固化。
優(yōu)點:工藝相對簡單,生產成本較低,適合小批量或定制化生產。
缺點:靶材密度和均勻性稍遜,可能在高功率濺射中表現不夠穩(wěn)定。
適用場景:中低端電子產品或實驗室研發(fā)用靶材。
這兩種方法各有千秋,制造商需要根據具體需求權衡成本與性能。
制備完成后,ITO靶材在實際應用中還會遇到一些問題:
濺射不均勻:如果靶材內部存在微小缺陷或成分偏差,濺射過程中可能出現局部過熱,導致薄膜厚度不一致。
靶材破裂:在高功率濺射時,靶材承受的熱應力可能超出其極限,造成破裂,進而影響生產線的連續(xù)性。
資源限制:ITO靶材依賴銦這種稀有金屬,而銦的全球儲量有限,價格波動較大。這不僅推高了成本,也促使業(yè)界尋找替代方案。
在智能手機、平板電腦、超清電視的光滑屏幕背后,ITO靶材(氧化銦錫)是賦予其透明導電魔力的核心材料。作為ITO靶材的關鍵成分,銦(In)的穩(wěn)定供應直接關系到全球萬億級顯示產業(yè)的命脈。然而,這種稀散金屬的地緣分布不均(中國儲量占全球70%以上)和原生礦產的有限性,使得銦的回收再利用不再是環(huán)保課題,更成為保障產業(yè)、實現供應鏈韌性的“閉環(huán)”革命。