矢量潔凈室：在房間的側(cè)上角送風，采用扇形過濾器，也可以用普通過濾器配扇形送風口，在另一側(cè)的下部設回風口，房間的高長比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達到5級（100級）潔凈度。

潔凈室的流型基本上是上述三種類型，但是實際應用時可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型，以在局部區(qū)域（單向流部分）實現(xiàn)高級別的潔凈室。例如，在潔凈室中設水平單向流的“隧道”（一側(cè)敞開），潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型，從而實現(xiàn)“隧道”部分達到5級以上潔凈度，工作臺就設在“隧道內(nèi)”。

當產(chǎn)品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。

減少渦流，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。

為了防止灰塵的二次飛揚，氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風口不應設在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風口。

工作區(qū)的氣流應均勻，流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求；潔凈氣流應盡可能把工作部位圍罩起來，使污染物在擴散之前便流向回風口。

工作設備布置時要留有一定的間隔，為送、回風口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件：氣流組織設計時要考慮高大設備對氣流組織的影響。