.建筑布局和裝修方案:是潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室運(yùn)行的基礎(chǔ)。由于微生物病菌的危險(xiǎn)性,必須防止危險(xiǎn)性微生物向外界擴(kuò)散,地阻斷危險(xiǎn)性微生物與外部環(huán)境的接觸途徑,同時(shí)避免微生物受外界污染,影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性,必須采取合理的實(shí)驗(yàn)室布局和裝修方案。
整體性:“整體潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室”為客戶(hù)提供的是一站式“交鑰匙”工程,降低了采購(gòu)成本,可減少客戶(hù)大量的精力、物力和人力的投入,客戶(hù)無(wú)需考慮過(guò)多的技術(shù)細(xì)節(jié)問(wèn)題。
亂流潔凈室的主要特點(diǎn)是從來(lái)流到出流(從送風(fēng)口到回風(fēng)口)之間氣流的流通截面是變化的,潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以,送風(fēng)口以后的流線彼此有很大或者越來(lái)越大的夾角,曲率半徑很小,氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動(dòng),將會(huì)彼此撞擊,將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實(shí)質(zhì)是:突變流;非均勻流。
例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間溫度不宜超過(guò)25度,濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。