工業(yè)革命以前，機械大都是由木工手工制成的木結構，金屬(主要是鋼和鐵)僅用以制造儀器、鐘表、鎖、泵和木結構機械上的小型零件。金屬加工主要靠機匠的精工細作以達到需要的精度。隨著蒸汽機的廣泛使用以及隨之出現的礦山、冶金、輪船和機車等大型機械的發(fā)展，需要成形加工和切削加工的金屬零件越來越多，所用金屬材料由銅、鐵發(fā)展到以鋼為主。

機器的生產過程是指從原材料（或半成品）制成產品的全部過程。對機器生產而言包括原材料的運輸和保存，生產的準備，毛坯的制造，零件的加工和熱處理，產品的裝配、及調試，油漆和包裝等內容。生產過程的內容十分廣泛，現代企業(yè)用系統(tǒng)工程學的原理和方法組織生產和指導生產，將生產過程看成是一個具有輸入和輸出的生產系統(tǒng)。

隨著微/納米科學與技術（Micro/Nano Science and Technology）的發(fā)展，以本身形狀尺寸微小或操作尺度極小為特征的微機械已成為人們認識和改造微觀世界的一種高新科技。微機械由于具有能夠在狹小空間內進行作業(yè)，而又不擾亂工作環(huán)境和對象的特點，在航空航天、精密儀器、生物醫(yī)療等領域有著廣闊的應用潛力，并成為納米技術研究的重要手段，因而受到高度重視并被列為21世紀關鍵技術之首。

精密和超精密加工時現代機械加工制造技術的一個重要組成部分，是衡量一個國家高科技制造業(yè)水平高低的重要指標之一。20世紀60年代以來，隨著計算機及信息技術的發(fā)展，對制造技術提出了更高的要求，不僅要求獲得的尺寸、形位精度，而且要求獲得的表面質量。正是在這樣的市場需求下，超精密加工技術得到了迅速的發(fā)展，各種工藝、新方法不斷涌現。